KEYENCE Deutschland GmbH, Neu-Isenburg Keyence VK-X250 Laser-Scanning-Mikroskop

Anwendungsmöglichkeiten
  • Strukturmessungen lateral und vertikal, Profil und Rauheit (tilt- und konturkompensiert)
  • Flankenmessung: < 87°
Technische Daten
  • Konfokales Laser-Scanning-Mikroskop für die Oberflächenanalyse und für präzise, berührungslose 3D-Messungen
  • Bildfeld: < 5 mm
  • Lichtquellen: Laser 408 nm Weißlicht
  • Optik: konfokal Lasersensor
  • Photomultiplier: 16 bit
  • Betriebsbereich: 70 mm x 70 mm (manuell)
  • Meßobjekt hmax: 28 mm
  • 4 Objektive: 10x WD 16,50 mm bis 150x WD 0,20 mm
  • Objekttisch: manuell
  • Software: Image/Profile Observation Multi-File Analysis Application
  • Kurze Messzeiten
  • Messabweichungen: lateral +/-2% v. Messwert vertikal < (0,2 + L/100) μm
  • Messmethodik: Automatisierter Probenvergleich, Stitching-Funktion, Automatischer Intensitätsabgleich, Wide Dynamic Range Funktion
Labor
Mikroskopie
Standort

Technologie Anwender Zentrum Spiegelau

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