KEYENCE Deutschland GmbH, Neu-Isenburg Keyence VK-X250 Laser-Scanning-Mikroskop
Anwendungsmöglichkeiten
- Strukturmessungen lateral und vertikal, Profil und Rauheit (tilt- und konturkompensiert)
- Flankenmessung: < 87°
Technische Daten
- Konfokales Laser-Scanning-Mikroskop für die Oberflächenanalyse und für präzise, berührungslose 3D-Messungen
- Bildfeld: < 5 mm
- Lichtquellen: Laser 408 nm Weißlicht
- Optik: konfokal Lasersensor
- Photomultiplier: 16 bit
- Betriebsbereich: 70 mm x 70 mm (manuell)
- Meßobjekt hmax: 28 mm
- 4 Objektive: 10x WD 16,50 mm bis 150x WD 0,20 mm
- Objekttisch: manuell
- Software: Image/Profile Observation Multi-File Analysis Application
- Kurze Messzeiten
- Messabweichungen: lateral +/-2% v. Messwert vertikal < (0,2 + L/100) μm
- Messmethodik: Automatisierter Probenvergleich, Stitching-Funktion, Automatischer Intensitätsabgleich, Wide Dynamic Range Funktion
Labor
MikroskopieStandort
Technologie Anwender Zentrum Spiegelau