Zygo Weißlichtinterferometer NewView 7200

Technische Daten
  • Vertikalscanner:
    • 0 < z < 150 µm
    • Piezo mit kapazitiven Sensoren
    • 150 µm < z < 20 mm
    • Schittmotor, Auflösung 0,1 µm
  • Vertikale Auflösung:
    • Piezo < 0,1 nm
    • Schrittmotor 0,1 µm
  • Maximale Objekthöhe: 50 mm
  • rms-Wiederholbarkeit: < 0,01 nm
  • Scanrate: < 26 µm/s
  • Laterale Auflösung: 0,22 µm - 8 µm
  • Auflösung CCD: 640 x 480
  • Objektträger: Motorisierung in Verkippung, X und Y
  • Software: ZYGO MetroPro
  • Unterstützte Datentypen: .dat, .asc, .cvg, .sdf, .zxg, .xyz
Labor
Messtechnik
Standort

Technologie Campus Teisnach

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