Leistungsspektrum:

• Halbleiteranalytik
• Probenpräparation
• Oxid/Dielektra-Zuverlässigkeit
• Device-Zuverlässigkeit
• Metallisierungszuverlässigkeit

Ziele: Vertiefte Kenntnisse im Bereich der hochauflösenden Analytik. Erlernen der Funktionsweise und des praktischen Umgangs mit höchstauflösenden Raster-Elektronen-Mikroskopen (REM) sowie weiterführender Analysemethoden. Befähigung zur eigenständigen Durchführung von Probenpräparationen und anschließenden REM-Analysen/Oberflächenanalysen. Verständnis der Funktionsweise von Testmethoden und Verfahren zur Qualitätssicherung von integrierten Schaltungen. Befähigung zur eigenständigen Planung, Durchführung und Auswertung von IC-Zuverlässigkeitsuntersuchungen.

Praktikumsinhalte, Gebiet Raster-Elektronen-Mikroskopie, Analytik:

• Probenpräparation
• Lichtmikroskopie
• Rasterelektronenmikroskopie und weiterführende Analytik-Praktikumsinhalte, Gebiet elektrische Verfahren der Halbleiteranalytik:
• Konstant-Spannungs- und -Stromtest
• Ermittlung von Aktivierungsenergien und Beschleunigungsfaktoren
• Hot-Carrier-Tests
• Bias/Temperatur Instabilitäten
• Elektromigrations-Tests
• Dünn-Oxid-Zuverlässigkeits-Tests / Lebensdauerbestimmungen

Durchführung von Bachelor- und Masterarbeiten sowie Forschungsprojekten auf den Gebieten:

• Charakterisierung von Mikro- und Nanostrukturen
• Untersuchungen von Schicht und Dünnschichtsystemen
• Halbleiter-Zuverlässigkeits-Analytik
• Methodenentwicklung

Kontakt:

• Prof. Dr.-Ing. Günther Benstetter
• Edgar Lodermeier
• Heiko Ranzinger

Das Labor richtet sich primär an Studierende der Technischen Hochschule Deggendorf.

Raum: E007

Ausstattung:

• Raster-Elektronen-Mikroskop Zeiss Ultra 55 (incl. STEM, EDX, WDX, EBSD, µ-XRF)
• Raster-Elektronen-Mikroskop Hitachi S-900
• Nicolet Nexus 470 FT-IR Spektrometer
• Lichtmikroskope bis 1500-fache Vergrößerung
• Probenpräparationslabor
• Laser-Cutter
• Cascade Probe-Station für 200 mm
• Semiautomatischer Suess Wafer-Prober PA300 für 300 mm
• Thermo-Probenaufnahme (-65 °C - +200 °C)
• Agilent 4155B Parameter Analyzer
• Agilent Switch-Matrix
• Poliermaschine Bühler Ecomet 3