Raster-Elektronen-Mikroskopie (REM) und Halbleiteranalyti

Fakultät
Elektrotechnik und Medientechnik
Standort
Technische Hochschule Deggendorf
Anwendungsmöglichkeiten

Leistungsspektrum:

  • Halbleiteranalytik
  • Probenpräparation
  • Oxid/Dielektra-Zuverlässigkeit
  • Device-Zuverlässigkeit
  • Metallisierungszuverlässigkeit

Ziele: Vertiefte Kenntnisse im Bereich der hochauflösenden Analytik. Erlernen der Funktionsweise und des praktischen Umgangs mit höchstauflösenden Raster-Elektronen-Mikroskopen (REM) sowie weiterführender Analysemethoden. Befähigung zur eigenständigen Durchführung von Probenpräparationen und anschließenden REM-Analysen/Oberflächenanalysen. Verständnis der Funktionsweise von Testmethoden und Verfahren zur Qualitätssicherung von integrierten Schaltungen. Befähigung zur eigenständigen Planung, Durchführung und Auswertung von IC-Zuverlässigkeitsuntersuchungen.

Praktikumsinhalte, Gebiet Raster-Elektronen-Mikroskopie, Analytik:

  • Probenpräparation
  • Lichtmikroskopie
  • Rasterelektronenmikroskopie und weiterführende Analytik-Praktikumsinhalte, Gebiet elektrische Verfahren der Halbleiteranalytik:
  • Konstant-Spannungs- und -Stromtest
  • Ermittlung von Aktivierungsenergien und Beschleunigungsfaktoren
  • Hot-Carrier-Tests
  • Bias/Temperatur Instabilitäten
  • Elektromigrations-Tests
  • Dünn-Oxid-Zuverlässigkeits-Tests / Lebensdauerbestimmungen

Durchführung von Bachelor- und Masterarbeiten sowie Forschungsprojekten auf den Gebieten:

  • Charakterisierung von Mikro- und Nanostrukturen
  • Untersuchungen von Schicht und Dünnschichtsystemen
  • Halbleiter-Zuverlässigkeits-Analytik
  • Methodenentwicklung

Kontakt:

  • Prof. Dr.-Ing. Günther Benstetter
  • Edgar Lodermeier
  • Heiko Ranzinger

Das Labor richtet sich primär an Studierende der Technischen Hochschule Deggendorf.

Technische Daten

Ausstattung:

  • Raster-Elektronen-Mikroskop Zeiss Ultra 55 (incl. STEM, EDX, WDX, EBSD, µ-XRF)
  • Raster-Elektronen-Mikroskop Hitachi S-900
  • Nicolet Nexus 470 FT-IR Spektrometer
  • Lichtmikroskope bis 1500-fache Vergrößerung
  • Probenpräparationslabor
  • Laser-Cutter
  • Cascade Probe-Station für 200 mm
  • Semiautomatischer Suess Wafer-Prober PA300 für 300 mm
  • Thermo-Probenaufnahme (-65 °C - +200 °C)
  • Agilent 4155B Parameter Analyzer
  • Agilent Switch-Matrix
  • Poliermaschine Bühler Ecomet 3
Ansprechpartner
Bilder