Durch die Teilnahme am Praktikum „Ausgewählte Kapitel der Mikro- und Nanoelektronik“ erlernen die Studierenden, dass es neben der Raster-Elektronen-Mikroskopie, eine Vielzahl von Verfahren der Raster-Sonden-Mikroskopie gibt, mit denen Material- und Strukturparameter von mikro- und nanotechnologischen Systemen analysiert werden können. Das Ziel ist die Erlernung der Funktionsweisen unterschiedlicher SPM-Messmodi sowie die Befähigung zum praktischen Umgang mit Raster-Sonden-Mikroskopen. Die Praktikumsversuche vertiefen die theoretischen Grundkenntnisse von Mikro- und Nanosystemen und gewähren Einblicke in die Anwendung höchstauflösender SPM-Analysemethoden.

Leistungsspektrum:

• Halbleiteranalytik
• Oberflächenanalytik
• Raster-Sonden-Mikroskopie

Messmodi:

• Topographie (Tapping)
• Scanning Capacitance (SCM)
• Scanning Spreading Resistance (SSRM)
• Kelvin-Probe-Force (KPFM)
• Tunneling Current (TUNA, C-AFM)
• Scanning Magnetic Force (MFM)
• Harmonix
• Nano Scratch & Nano Wear
• Quantitative Nanomechanical Property Mapping (QNM)

Praktikumsinhalte:

• Einführung Raster-Sonden-Mikroskopie
• Rauhigkeits-Oberflächenanalyse einer präparierten Probe
• Scanning Capacitance Microscopy (SCM)
• Scanning Spreading Resistance Microscopy (SSRM)
• Conductive Atomic Force Microscopy (CAFM)
• Magnetic Force Microscopy (MFM)
• Tunnelstrommessungen (TUNA)
• Oxiddickenbestimmung Durchführung von Bachelor- und Masterarbeiten sowie von Forschungsprojekten auf den Gebieten der Raster-Sonden-Mikroskopie.

Das Labor richtet sich primär an Studierende der Technischen Hochschule Deggendorf.

Raum: L006, E015

Ausstattung

• 2 x AFM "Dimension 3100" der Firma Bruker mit Nanoscope IIIa Controller
• AFM „Dimension Icon“ der Firma Bruker mit Nanoscope V Controller
• TUNA Applikationsmodul
• SCM Applicationsmodul
• Topographiemessungen: es können Oberflächenbilder mit einer Höhenauflösung von unter einem nm erzeugt werden
• SCM: Kombinierte Topographie- und Oberflächenkapazitätsmessung
• TUNA: Kombinierte Topographie- und Oberflächenkapazitätsmessungen bis in den pA-Bereich
• Elektrische Potential- und Kraftmessung
• MFM: Magnetic Force Microscopy Charakterisierung magnetischer Eigenschaften
• Mechanische Charakterisierung: Nanoidentation, -scratching, -wear, -friction