Suche nach „[Nachhaltig]“ hat 1293 Publikationen gefunden

NachhaltigEuropan Campus Rottal-Inn

Vortrag

Michael Laar

Tendências na construção com terra no mundo (Worldwide tendencies in Earth construction)

1995

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTC Teisnach Sensorik

Beitrag (Sammelband oder Tagungsband)

Maria Kufner, S. Kufner, S. Lazare, P. Pichon, P. Chavel

Microlenses in PMMA fabricated by particle or electromagnetic irradiation and monomer diffusion

Microlens Arrays, vol. Vol. 5

1995

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTC Teisnach Sensorik

Beitrag (Sammelband oder Tagungsband)

Maria Kufner, S. Kufner, P. Pichon, P. Chavel, M. Frank

Refractive Microprisms with Improved Surface Quality by Proton Polishing

Optical Computing, Washington, D. C., vol. Vol. 10

1995

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTC Teisnach Sensorik

Beitrag (Sammelband oder Tagungsband)

Maria Kufner, S. Kufner, P. Lalanne, P. Pichon, P. Chavel

Integration of microlens and fiber holder arrays by deep proton irradiation

Optical Computing, London, vol. 139

1995

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTC Teisnach Sensorik

Zeitschriftenartikel

Maria Kufner, S. Kufner, P. Chavel, M. Frank

Monolithic integration of microlens arrays and fiber holder arrays in PMMA with fiber selfcentering

Optics Letters, vol. 20, no. 3, pp. 276-278

1995

DOI: 10.1364/OL.20.000276

Abstract anzeigen

For many fiber applications the precise spacing from one fiber to another and the collimation of the outgoing light are important subjects. In the case of three-dimensional arrangements, such as fiber arrays, the complexity increases. The method of proton irradiation of poly(methyl methacrylate) permits the fabrication of slightly fan-shaped fiber holder arrays that can correct inhomogeneities of the fiber diameters in the micrometer range. Even a three-dimensional monolithic integration of fiber holders and corresponding microlenses can be achieved.

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTC Teisnach Sensorik

Beitrag (Sammelband oder Tagungsband)

Maria Kufner, S. Kufner, H. Thienpont, P. Pichon, P. Chavel

High quality flat surfaces in refractive microoptics fabricated by deep proton irradiation

Optique et information, vol. Vol. 6

1995

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTC Teisnach Sensorik

Zeitschriftenartikel

Maria Kufner, S. Kufner

Fabrication of monolithic integrated fiber-lens connector arrays by deep proton irradiation

Microsystems Technology, vol. 2, no. 1, pp. 114-118

1995

DOI: 10.1007/BF02739541

Abstract anzeigen

Deep proton irradiation in poly (methyl methacrylate) (PMMA) is a fabrication method for monolithic integrated micro optics which offers high stability and interesting autoalignment features. The process consists of three basic steps: irradiation of a PMMA substrate followed by either a development of the irradiated regions or a swelling of the irradiated regions by organic vapor or both applied to different regions. With this technique a variety of elementary refractive microoptical components and monolithically integrated combinations can be fabricated: microlenses, microprisms, beam splitters, fiber connectors with selfaligned microlenses on top of each fiber.

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTC Teisnach Sensorik

Vortrag

Günther Ruhl, B. Fröschle, P. Ramm, A. Intemann, W. Pamler

Deposition of titaniumnitride/tungsten films for application in vertically integrated circuits technology

Materials for Advanced Metallization '95, Dresden

1995

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTC Teisnach Sensorik

Beitrag (Sammelband oder Tagungsband)

M. Engelhardt, W. Pamler, T. Graßl, Günther Ruhl

A Wafer-to-Wafer Interconnect Scheme Using Through-Hole Silicon Trench Etching and MCVD

Proceedings of Applied Materials Fall Seminar 1995

1995

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTC Teisnach Sensorik

Zeitschriftenartikel

M. Engelhardt, W. Pamler, B. Fröschle, T. Graßl, Günther Ruhl

Interchip Vias

European Semiconductor, no. October

1995

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTC Teisnach Sensorik

Zeitschriftenartikel

Günther Ruhl, B. Fröschle, P. Ramm, A. Intemann, W. Pamler

Deposition of titaniumnitride/tungsten films for application in vertically integrated circuits technology

Applied Surface Science, vol. 91, no. 1-4, pp. 382-387

1995

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTC Teisnach Sensorik

Beitrag (Sammelband oder Tagungsband)

M. Engelhardt, W. Pamler, B. Fröschle, T. Graßl, Günther Ruhl

Vertical integration of chips: a technological challenge for plasma etching and deposition

Proceeding of Tegal European Plasma Seminar, vol. 13

1995

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTC Teisnach Sensorik

Beitrag (Sammelband oder Tagungsband)

A. Intemann, Günther Ruhl, E. Hartmann, H. Körner

Applications and properties of MOCVD-TiN

Conference Proceedings ULSI-X (MRS)

1995

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTC Teisnach Sensorik

Zeitschriftenartikel

M. Rückschloß, T. Wirschem, H. Tamura, Günther Ruhl, J. Oswald, S. Vepřek

Photoluminescence from OH-related radiative centres in silica, metal oxides, oxidized nanocrystalline and porous silicon

Journal of Luminescence, vol. 63, no. 5-6, pp. 279-287

1995

DOI: 10.1016/0022-2313(94)00076-O

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTC Teisnach Sensorik

Beitrag (Sammelband oder Tagungsband)

A. Intemann, Günther Ruhl

Remote Plasma Deposition of CVD Titanium Nitride Films using Organometallic Precursors

Proceedings of the 1995 ACS Meeting "Organometallic/Inorganic Chemistry in Materials Research"

1995

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTC Teisnach Sensorik

Beitrag (Sammelband oder Tagungsband)

P. Lalanne, Maria Kufner, S. Kufner, P. Chavel

2D fiber connector based on refractive and diffractive optics for intracomputer communication

OSA Proceedings of the International Optical Design Conference, Washington, DC

1994

ISBN: 155752355X

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTC Teisnach Sensorik

Beitrag (Sammelband oder Tagungsband)

Maria Kufner, S. Kufner, P. Chavel, P. Pichon

Fiber array alignment using deep proton irradiation

ICO Topical Meeting on Frontiers in Information Optics

1994

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTC Teisnach Sensorik

Vortrag

Günther Ruhl, K. Hieber

Trends in der Prozeßentwicklung für die Mehrlagenmetallisierung

Eingeladener Vortrag

Arbeitskreis Plasmaoberflächentechnologie, Sindelfingen

1994

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTC Teisnach Sensorik

Beitrag (Sammelband oder Tagungsband)

A. Intemann, H. Koerner, Günther Ruhl, K. Hieber, E. Hartmann

Applications and Properties of MOCVD Titanium Nitride

Proceedings of the 1994 Advanced Metallization Congress

1994

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTC Teisnach Sensorik

Zeitschriftenartikel

S. Kufner, Maria Kufner, M. Frank, A. Müller, K.-H. Brenner

3D integration of refractive microoptical components by deep proton irradiation

Pure and Applied Optics: Journal of the European Optical Society Part A, vol. 2, no. 2, pp. 111-124

1993

DOI: 10.1088/0963-9659/2/2/004

Abstract anzeigen

An integration of microoptical components to three-dimensional systems is of interest for optical information processing as well as for optical interconnections. Polymethyl methacrylate (PMMA) is a suitable substrate material, because microprisms, beamsplitters and microlenses can be integrated monolithically in the same substrate by deep proton irradiation. The microcomponents can be combined to compact microoptical imaging systems which are easy to align. The fabrication method and the imaging properties of this system are discussed.