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F: Elektrotechnik und MedientechnikI: IQMA

Vortrag

Günther Benstetter, R. Schmidt, S. Ascher, M. Kerber, Johannes Grabmeier, A. Huber

Evaluation of thin oxide reliability by means of wafer level stress-testing

8th European Parametric Test User Group Meeting, Prien am Chiemsee

2002