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NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTAZ Spiegelau

Patent

R. Foerg, Günther Ruhl, Kersten Kellermann, R. Rupp, W. Lehnert, M. Sommer, R. Berger, C. Rottmair, H.-J. Schulze, H. Gruber, A. Mauder

Method for manufacturing a composite wafer having a graphite core, and composite wafer having a graphite core

2017

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTAZ Spiegelau

Patent

Günther Ruhl, R. Rupp, W. Lehnert, R. Berger, H.-J. Schulze, A. Mauder

Composite wafer for bonding and encapsulation of a SiC-based functional layer

2016

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTAZ Spiegelau

Patent

R. Foerg, Günther Ruhl, Kersten Kellermann, R. Rupp, W. Lehnert, M. Sommer, R. Berger, C. Rottmair, H.-J. Schulze, H. Gruber, A. Mauder

Method for manufacturing a composite wafer having a graphite core, and composite wafer having a graphite core

2015

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTAZ Spiegelau

Patent

Günther Ruhl, R. Rupp, W. Lehnert, R. Berger

Compound structure and method for forming a compound structure

2015

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTAZ Spiegelau

Patent

R. Foerg, Günther Ruhl, Kersten Kellermann, R. Rupp, W. Lehnert, M. Sommer, R. Berger, C. Rottmair, H.-J. Schulze, H. Gruber, A. Mauder

Method for manufacturing a composite wafer having a graphite core, and composite wafer having a graphite core

2014