Suche nach „[Hofbauer] [Engelbert]“ hat 30 Publikationen gefunden

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und Wirtschaftsingenieurwesen

Beitrag (Sammelband oder Tagungsband)

R. Kometer, Engelbert Hofbauer

Fast and reliable in-situ measurements of large and complex surfaces using a novel deflectometric device

Proceedings of SPIE 10829 (Fifth European Seminar on Precision Optics Manufacturing [April 10-11, 2018; Teisnach])

2018

ISBN: 978-1-5106-2270-8

DOI: 10.1117/12.2318583

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In-situ measurements of complex surfaces during the polishing process is a challenge for the production of aspheric surfaces or freeforms. We are providing a new attempt by using a scanning deflectometric device based on our recently published DaOS [1] principle, which allows in-situ measurements of large optical surfaces in realistic production environments and offers the conditions for direct intervention and correction in the polishing process. The results of insitu surface measurements after three polishing steps of a large glass substrate (320 mm in diameter) in a lever-polishing machine (NLP500 from Stock Konstruktion GmbH) are shown and critically compared with interferometric measurements on a SSI-A Interferometer. In this paper, the technical setup consisting of a highly precise scanning penta prism device and a Vignetting Field Stop (VFS) Sensor is explained. Secondly, we are discussing the mathematical algorithm to reconstruct the complete surface from angle measurements from a given number of cross-sectional cuts. The data of the surface reconstruction are transformed into a XYZ-file format to be analyzed with MetroPro®. The results are shown and discussed in terms of accuracy and reproducibility. Finally, a comparison with interferometric measurements on an SSI-A (QED) at TH Deggendorf (THD), Technology Campus Teisnach is shown to proof the degree of accuracy and applicability of our new, fast and reliable device for in-situ measurements of complex surfaces.

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und Wirtschaftsingenieurwesen

Beitrag (Sammelband oder Tagungsband)

Felix Friedke, Rolf Rascher, R. Kometer, Engelbert Hofbauer

Resolution, measurement errors and uncertainties on deflectometric acquisition of large optical surfaces "DaOS"

Proceedings of SPIE 10326 (Fourth European Seminar on Precision Optics Manufacturing, 1032601 [April 4th-5th 2017, Teisnach])

2017

DOI: 10.1117/12.2267513

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und Wirtschaftsingenieurwesen

Zeitschriftenartikel

Rolf Rascher, Engelbert Hofbauer

Deflectometric Acquisition of Large Optical Surfaces DaOS

Using a new physical measurement principle: vignetting field stop procedure

Optik&Photonik, vol. 11, no. 5, pp. 40-44

2016

DOI: 10.1002/opph.201600036

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und Wirtschaftsingenieurwesen

Zeitschriftenartikel

J.-P. Richters, Rolf Rascher, Johannes Liebl, Engelbert Hofbauer, Manon Schilke

Deflectometric Acquisition of Large Optical Surfaces “DaOS” Using a New Physical Measurement Principle: Vignetting Field Stop

(Reprinted from Proceedings of SPIE Volume 10009: Third European Seminar on Precision Optics Manufacturing, 100090Y [Teisnach, April 12th 2016] doi:10.1117/12.2236134)

Bavarian Journal of Applied Sciences, no. 2, pp. 146-161

2016

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The vignetting field stop procedure uses a deflectometric approach to acquire big Optical Surfaces – DaOS – and it offers the possibility to measure nearly any shape or form using a scanning routine. The basic physical measurement principle in DaOS is the vignettation of a quasi-parallel light beam emitted by an expanded light source in auto collimation arrangement with a reflecting element. Thereby nearly any curvature of the specimen, is measurable. Due to the fact, that even sign changes in the curvature can be detected, also aspheres and freeform surfaces of any size can be evaluated. In this publication the vignetting field stop procedure is discussed. Additionally the deflectometric setup is described. Because of some typical influences of beam deflection to the accuracy of angle measurement by using the vignetting principle, suitable methods of calibration for the sensor are examined and the results of these methods are presented. Furthermore, the technical principle of deflectometric measurements using an angle detecting device is explained inclusive of all random and systematic errors generated by the setup. The last part of this publication shows the actual result of test measurements with calculated absolute deviation of errors with a large lateral dimension as well as the determination of the maximal achievable lateral resolution by detecting mid frequent structures on flat and spherical test parts with a diameter of 300 mm. These measurements are compared critically to reference results which are recorded by interferometry and further scanning methods.

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und Wirtschaftsingenieurwesen

Beitrag (Sammelband oder Tagungsband)

J.-P. Richters, Rolf Rascher, Johannes Liebl, Engelbert Hofbauer, Manon Schilke

Deflectometric acquisition of large optical surfaces (DaOS) using a new physical measurement principle: vignetting field stop procedure

Proceedings of SPIE 10009 (Third European Seminar on Precision Optics Manufacturing, 100090Y [April 12th 2016, Teisnach])

2016

DOI: 10.1117/12.2236134

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und Wirtschaftsingenieurwesen

Beitrag (Sammelband oder Tagungsband)

J.-P. Richters, Felix Friedke, Rolf Rascher, Thomas Stubenrauch, Johannes Liebl, Engelbert Hofbauer

The vignetting field stop procedure: A new physical measurement principle for the Deflectometric acquisition of big Optical Surfaces - DaOS

DGaO Proceedings (116. Jahrestagung in Brno, Tschechische Republik, 25.-29.05.2015)

2015

Angewandte Naturwissenschaften und Wirtschaftsingenieurwesen

Beitrag (Sammelband oder Tagungsband)

S. Schleich, Felix Friedke, Rolf Rascher, C. Zöcke, Thomas Stubenrauch, K. Wühr, B. Pastötter, Engelbert Hofbauer

3D-optical measurement system using vignetting aperture procedure

Proceedings of SPIE Vol. 9132

2014

DOI: 10.1117/12.2052631

Angewandte Naturwissenschaften und Wirtschaftsingenieurwesen

Beitrag (Sammelband oder Tagungsband)

Roland Maurer, Rolf Rascher, Thomas Stubenrauch, et al., Johannes Liebl, Engelbert Hofbauer

Approach to the measurement of astronomical mirrors with new procedures

Optical Metrology 2013, Optical Measurement Systems for Industrial Inspection VIII, volume 8788

2013

Angewandte Naturwissenschaften und Wirtschaftsingenieurwesen

Vortrag

Christine Wünsche, Karlheinz Penzkofer, Rolf Rascher, Paul Schötz, Johannes Liebl, Engelbert Hofbauer

Metrology at Technologie Campus Teisnach

8th Workshop Asphere Metrology, Braunschweig

2012

Angewandte Naturwissenschaften und Wirtschaftsingenieurwesen

Vortrag

Christian Schopf, L. Grunwaldt, R. Neubert, et al., Engelbert Hofbauer

Single Open Reflector for MEO/GNSS type Satellite. A status report

17th International Workshop on Laser Ranging, Bad Kötzting

2011

Angewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenElektrotechnik und Medientechnik

Zeitschriftenartikel

Roland Maurer, Horst Linthe, Engelbert Hofbauer

Messunsicherheit bei der interferometrischen Formvermessung

Photonik - Fachzeitschrift für die optischen Technologien, no. 2

2011

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Bei der Herstellung von Präzisionsoptiken spielt die Qualitätssicherung eine wichtige Rolle. Die Referenzflächen interferometrischer Geräte dürfen gewisse Grenzen nicht überschreiten, damit die Toleranzen in der Fertigung mit Sicherheit eingehalten werden können. Die Vermessung der Vergleichs- und Referenzoptiken der Messmittel ermöglicht die Klassifizierung der Referenzobjektive mit λ/10, λ/20, λ/30 oder λ/40 und damit eine zuverlässige Beurteilung der Fertigungsprozesse in der Produktion.

Angewandte Naturwissenschaften und Wirtschaftsingenieurwesen

Zeitschriftenartikel

M. Lenz, Engelbert Hofbauer

Vignettierung als physikalisches Messprinzip zur zweidimensionalen Winkelmessung

tm - Technisches Messen, vol. 75, no. 3, pp. 153-167

2008

DOI: 10.1524/teme.2008.0824

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Ein neues Verfahren mit vignettierender Feldblendenauswertung nutzt die Vignettierung zur Winkelmessung und umgeht die Problematik der Messbereichseinschränkung beim klassischen Autokollimator. Messprinzip, Messbereich sowie die mathematischen Grundlagen mit numerischer Simulation werden vorgestellt. Die Einflüsse geometrischer und photometrischer Effekte auf die Intensitätsverteilung sowie auf die dadurch verursachte Linearitätsabweichung werden theoretisch hergeleitet und mit experimentellen Werten verglichen. A newly developed measuring procedure uses vignetting to evaluate angles and angle changes. That enables to avoid the problem of restricted measuring range with the classical autocollimator. Principles of measurement, measuring range, as well as the mathematical basics with numerical simulation are presented. The influences of geometrical and photometric effects on the intensity profile and on the linearity error are discussed and compared with experimental values.

Angewandte Naturwissenschaften und Wirtschaftsingenieurwesen

Patent

Engelbert Hofbauer

Method and measuring device for contactless measurement of angles or angel changes on objects

2007

Angewandte Naturwissenschaften und Wirtschaftsingenieurwesen

Zeitschriftenartikel

et al., Engelbert Hofbauer

Geknickt und vermessen

Quality Engineering, no. 5

2004

Angewandte Naturwissenschaften und Wirtschaftsingenieurwesen

Patent

Engelbert Hofbauer

Verfahren und Messvorrichtung zur berührungslosen Messung von Winkeln oder Winkeländerungen an Gegenständen

2003

Angewandte Naturwissenschaften und Wirtschaftsingenieurwesen

Zeitschriftenartikel

F. Haydn, Engelbert Hofbauer

Der richtige Dreh - Messung der Positionsunsicherheit an Dreh- und Schwenkachsen

KONTROLLE, vol. 4, no. Sonderdruck

1997

Angewandte Naturwissenschaften und Wirtschaftsingenieurwesen

Vortrag

Engelbert Hofbauer

Optisches Messen und Prüfen - Qualitätssicherung im optischen und optoelektronischen Gerätebau

Lehrgang

1997

Angewandte Naturwissenschaften und Wirtschaftsingenieurwesen

Zeitschriftenartikel

K. Röttger, R. Kellner, Engelbert Hofbauer

Kurzer Prozeß mit Ebenheit - Ebenheitsmessung an Polierträgerplatten in der Silizium-Waferfertigung

F&M Feinwerktechnik Mikrotechnik Mikroelektronik, vol. 104, no. 5, pp. 340-343

1996

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Evenness measurement on polished support plates in silicon wafer production. The semiconductor industry requires silicon wafers complying with stringent evenness and surface uniformity requirements. To permit these parameters to be fulfilled and further optimized, reliable information regarding the evenness of machine elements playing a crucial role in the production process is essential. Simple, precise gauging is possible using an electronic autocollimator in conjunction with a signal-processing portable PC.

Angewandte Naturwissenschaften und Wirtschaftsingenieurwesen

Patent

Engelbert Hofbauer

Optical System for imaging the light from light sources

1994

Angewandte Naturwissenschaften und Wirtschaftsingenieurwesen

Patent

Engelbert Hofbauer

Astigmatismuskorrektur bei Laserdiodenoptiken

1994