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Suche nach „[H.] [Göbel]“ hat 9 Publikationen gefunden
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Alexander Hofer, R. Biberger, Günther Benstetter, B. Wilke, H. Göbel
Scanning probe microscopy based electrical characterization of thin dielectric and organic semiconductor films
24th European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and Analysis (ESREF), Arcachon, Frankreich
2013
Zeitschriftenartikel
Alexander Hofer, R. Biberger, Günther Benstetter, B. Wilke, H. Göbel
Scanning probe microscopy based electrical characterization of thin dielectric and organic semiconductor films
Microelectronics Reliability, vol. 53, no. 9-11, pp. 1430-1433
2013
Vortrag
Alexander Hofer, B. Wilke, R. Biberger, Günther Benstetter, H. Göbel
Capacitance and Conductivity Mapping of Organic Films and Devices with Non-Contact SPM Methods
International Workshop on Scanning Probe Microscopy for Energy Applications, Mainz
2011
Vortrag
Günther Benstetter, R. Biberger, Alexander Hofer, H. Göbel
Intermittent-Contact Scanning Capacitance Analysis of Thin Dielectric Films and Semiconductor Devices
Invited Talk
5th International Conference on Technological Advances of Thin Films & Surface Coatings, Harbin, China
2010
Zeitschriftenartikel
R. Biberger, Günther Benstetter, H. Göbel
Displacement current sensor for contact and intermittent contact scanning capacitance microscopy
Microelectronics Reliability, vol. 49, no. 1, pp. 1192-1195
2009
Zeitschriftenartikel
R. Biberger, Günther Benstetter, T. Schweinböck, Peter Breitschopf, H. Göbel
Intermittent-contact scanning capacitance microscopy versus contact mode SCM applied to 2D dopant profiling
Microelectronics Reliability, vol. 48 (8-9), pp. 1339-1349
2008
Beitrag (Sammelband oder Tagungsband)
Schnittstellen für schnelle Halbleiterspeicher
Jahrbuch der Elektrotechnik 1998, Berlin; Offenbach
1997
Zeitschriftenartikel
Zuverlässigkeitsherausforderungen dünner Dielektrika in Sub-Mikrometer ICs
F&M Feinwerktechnik Mikrotechnik Mikroelektronik, no. 3, pp. 127-132
1997
Zeitschriftenartikel
Schnittstellen für schnelle Halbleiterspeicher
Nachrichtentechnische Zeitschrift (ntz), vol. 49, no. 11, pp. 28-33
1996