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NachhaltigTC Teisnach Sensorik

Patent

Günther Ruhl, G. Lippert, H.-J. Schulze, T. Zimmer

Method of manufacturing a semiconductor device having graphene material

NachhaltigTC Teisnach Sensorik

Patent

Günther Ruhl, K. Pruegl

Method for processing a carrier

NachhaltigTC Teisnach Sensorik

Patent

R. Berger, W. Lehnert, G. Metzger-Brueckl, Günther Ruhl, R. Rupp

Wafer composite and method for producing semiconductor components

NachhaltigTC Teisnach Sensorik

Patent

R. Rupp, Günther Ruhl, H.-J. Schulze

Silicon carbide semiconductor device and a method for forming a silicon carbide semiconductor device

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTC Teisnach Sensorik

Patent

H.-J. Schulze, Günther Ruhl, R. Rupp

Semiconductor devices and methods for forming semiconductor devices

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTC Teisnach Sensorik

Vortrag

Günther Ruhl, F. Czieslok, Raimund Förg

Sensorik mit 2D-Materialien

Technologietag Angewandte Sensorik, Coburg

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTC Teisnach Sensorik

Patent

J. Laven, P. Irsigler, J. Mahler, Günther Ruhl, H.-J. Schulze, M. Zundel

Semiconductor device including a heat sink structure

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTC Teisnach Sensorik

Patent

W. Lehnert, R. Berger, A. Birner, H. Brech, O. Haeberlen, Günther Ruhl, R. Rupp

Method of manufacturing semiconductor devices by bonding a semiconductor disk on a base substrate, composite wafer and semiconductor device

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTC Teisnach Sensorik

Patent

M. Hammer, Günther Ruhl

Fahrzeugbeleuchtungsanordnung, Leuchtmitteltreiberschaltung und Verfahren zur Bereitstellung von Informationen zur Bestimmung eines Beleuchtungszustandes

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTC Teisnach Sensorik

Patent

Günther Ruhl, M. König

Process for the formation of a graphene membrane component, graphene membrane component, microphone and Hall-effect sensor

DigitalAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTC Teisnach Sensorik

Patent

T. Spöttl, J. Pohl, F. Püschner, Günther Ruhl

Elektronisches Identifikationsdokument und Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Identifikationsdokuments

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTC Teisnach Sensorik

Beitrag (Sammelband oder Tagungsband)

Alois Kasberger, Benedikt Winter, T. Ullrich, Günther Ruhl, Raimund Förg

Entwicklung einer wasserdichten LED Flächenleuchte mit direkt im Glas eingebrachtem Konvertermaterial

Poster

DGaO Proceedings zur 120. Jahrestagung (11.-15.06.2019; Darmstadt)

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Patent

M. König, Günther Ruhl

Schichtstruktur und Verfahren zur Herstellung einer Schichtstruktur

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Zeitschriftenartikel

M. König, Günther Ruhl, A. Gahoi, S. Wittman, T. Preis, J.-M. Batke, I. Costina, M. Lemme

Accurate Graphene-Metal Junction Characterization

IEEE Journal of the Electron Devices Society (J-EDS), vol. 7, pp. 219-226

DOI: 10.1109/JEDS.2019.2891516

Abstract anzeigen

A reliable method is proposed for measuring specific contact resistivity (p C ) for graphenemetal contacts, which is based on a contact end resistance measurement. We investigate the proposed method with simulations and confirm that the sheet resistance under the metal contact (R SK ) plays an important role, as it influences the potential barrier at the graphene-metal junction. Two different complementary metal-oxide-semiconductor-compatible aluminum-based contacts are investigated to demonstrate the importance of the sheet resistance under the metal contact: the difference in R SK arises from the formation of insulating aluminum oxide (Al 2 O 3 ) and aluminum carbide (Al 4 C 3 ) interfacial layers, which depends on the graphene pretreatment and process conditions. Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy support electrical data. The method allows direct measurements of contact parameters with one contact pair and enables small test structures. It is further more reliable than the conventional transfer length method when the sheet resistance of the material under the contact is large. The proposed method is thus ideal for geometrically small contacts where it minimizes measurement errors and it can be applied in particular to study emerging devices and materials.

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Patent

H. Theuss, G. Beer, S. Beer, A. Dehe, F. Jost, S. Kolb, Günther Ruhl, R. Schaller

Photo-acoustic gas sensor module having light emitter and detector units

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Patent

Günther Ruhl, T. Hirsch, G. Poeppel, H. Roedig

Sensor arrangement for particle analysis and a method for particle analysis

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Patent

M. König, Günther Ruhl

Elektronische Vorrichtung

DigitalNachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTC Teisnach Sensorik

Vortrag

Alois Kasberger, Günther Ruhl, Stefan Menzel, Raimund Förg

Development of a waterproof, high color fidelity LED Light Panel

6th European Seminar on Precision Optics Manufacturing (POM19), Teisnach

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Patent

Günther Ruhl, M. Koenig

Process for the formation of a graphene membrane component, graphene membrane component, microphone and Hall-effect sensor

NachhaltigAngewandte Naturwissenschaften und WirtschaftsingenieurwesenTC Teisnach Sensorik

Patent

Günther Ruhl, H.-J. Schulze, T. Zimmer, W. Lippert

Semiconductor device having a graphene layer, and method manufactoring thereof