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Elektrotechnik und MedientechnikMaschinenbau und Mechatronik

Zeitschriftenartikel

D. Alvarez, T. Schweinböck, S. Schömann, Günther Benstetter, M. Buzzu, Peter Breitschopf, Werner Frammelsberger

New Trends in the application of scanning probe techniques in failure analysis

Microelectronics Reliability, vol. 44, no. 9-11, pp. 1541-1546

2004

DOI: 10.1016/j.microrel.2004.07.037

Elektrotechnik und MedientechnikMaschinenbau und Mechatronik

Vortrag

D. Alvarez, T. Schweinböck, S. Schömann, Günther Benstetter, M. Buzzu, Peter Breitschopf, Werner Frammelsberger

New Trends in the application of scanning probe techniques in failure analysis

15th European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and Analysis (ESREF), Zürich, Schweiz