Mikro- und Nanoanalytik

Forschungsschwerpunkt
Nachhaltiges Wirtschaften, Innovative Werkstoffe & Energie
Laufzeit

01.04.2010 - 31.12.2013

Beschreibung

Motivation

Bereitstellung verbesserter Analytikverfahren für die Mikro- und Nanotechnologie.

Vorgehen

Das Themengebiet ist die Entwicklung und Optimierung hochauflösender Raster-Sonden-Verfahren zur Bestimmung physikalischer und elektrischer Eigenschaften von mikroelektronischen Schaltungen, optoelektronischen Strukturen, Halbleitergrundmaterialien, technischen Gläsern sowie von modifizierten Polymerstrukturen.

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