Motivation

Bereitstellung verbesserter Analytikverfahren für die Mikro- und Nanotechnologie.

Vorgehen

Das Themengebiet ist die Entwicklung und Optimierung hochauflösender Raster-Sonden-Verfahren zur Bestimmung physikalischer und elektrischer Eigenschaften von mikroelektronischen Schaltungen, optoelektronischen Strukturen, Halbleitergrundmaterialien, technischen Gläsern sowie von modifizierten Polymerstrukturen.