CUBS
CMUT-basierte Sensorik
Fördergeber
Forschungsschwerpunkt
Nachhaltige Werkstoffe, Prozesse und Energietechnik - Sustainable Materials, Processes and Energy TechnologiesLaufzeit
30.09.2015 - 28.02.2018
Ziele
Ziele:
Herstellung hermetisch Dichter Ultraschallwandler in Glas für Gasmessungen (z.B. Sauerstoffmessung bei Operationen)
Beschreibung
Motivation:
Herstellung kapazitiver mikromechanischer Ultraschallwandler (CMUTs) in Glas