CUBS
CMUT-basierte Sensorik
Fördergeber
Forschungsschwerpunkt
Nachhaltiges Wirtschaften, Innovative Werkstoffe & EnergieLaufzeit
30.09.2015 - 28.02.2018
Ziele
Ziele:
Herstellung hermetisch Dichter Ultraschallwandler in Glas für Gasmessungen (z.B. Sauerstoffmessung bei Operationen)
Beschreibung
Motivation:
Herstellung kapazitiver mikromechanischer Ultraschallwandler (CMUTs) in Glas