CUBS

CMUT-basierte Sensorik

Fördergeber

Forschungsschwerpunkt
Nachhaltiges Wirtschaften, Innovative Werkstoffe & Energie
Laufzeit

30.09.2015 - 28.02.2018

Ziele

Ziele:

Herstellung hermetisch Dichter Ultraschallwandler in Glas für Gasmessungen (z.B. Sauerstoffmessung bei Operationen)

Beschreibung

Motivation:

Herstellung kapazitiver mikromechanischer Ultraschallwandler (CMUTs) in Glas

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