Motivation

Glaswafer werden gegenwärtig mit zeit- und arbeitsintensivem Aufwand produziert. Es soll ein alternatives und effektiveres Herstellungsverfahren entwickelt werden.

Vorgehen

Das Ziel ist Glaswafer in hoher Reinheit aus sogenannten Gobs mittels Präzisionsblankpressprozesses herzustellen. Dies soll an Glaswafern mit einem Durchmesser von 100mm nachgewiesen werden unter Einhaltung der marktüblichen Spezifikation bzgl. deren Ebenheit, Rauheit, Geometrie, Inhaltsstoffe und Ausdehnungskoeffizient.