3ω-Microscopy

Mikroskopische Bestimmung thermischer und struktureller Eigenschaften dünner Schichten durch modifizierte Raster-Sonden-Verfahren

Forschungsschwerpunkt
Nachhaltiges Wirtschaften, Innovative Werkstoffe & Energie
Laufzeit

01.09.2012 - 31.08.2015

Beschreibung

Motivation

Analytik dünner und ultra- dünner Schichten

Vorgehen

Bestimmung der thermischen Leitfähigkeit dünner Schichten. Ziel des geplanten Vorhabens ist die Entwicklung, der Bau und die Erprobung eines Zusatzmoduls (Add-on Modul) für Raster-Sonden-Mikroskope (RSM) zur thermischen Charakterisierung dünner Schichten und nanostrukturierter Materialen wie sie beispielsweise für Thermogeneratoren benötigt werden. Der zentrale Bestandteil des geplanten Projekts ist der Transfer und die Weiter-entwicklung der makroskopischen 3ω Methode in Richtung mikroskopischer Anwendung am Raster-Sonden-Mikroskop. Dieses dynamische Messverfahren bietet das Potential, thermische Eigenschaften dünner bzw. strukturierter Schichten mit einer lateralen Auflösung kleiner 100 nm zu erfassen. Die Messvorrichtung soll als Add-on-Zusatzmodul aufgebaut werden, das mit bestehenden Raster-Sonden-Systemen unterschiedlicher Hersteller kompatibel ist und somit universell eingesetzt werden kann. Im Rahmen des beantragten Vorhabens soll das Modul in Verbindung mit bereits etablierten Mess- und Charakterisierungsmethoden eingesetzt werden. Nach Abschluss des Projekts soll das entwickelte Modul kommerziell über das Steinbeis-Zentrum für Mikro-, Nano- und Zuverlässigkeitsanalytik (an der THD Deggendorf – geleitet vom Antragsteller) vertrieben werden.

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