Motivation

Analytik dünner und ultra- dünner Schichten

Vorgehen

Bestimmung der thermischen Leitfähigkeit dünner Schichten. Ziel des geplanten Vorhabens ist die Entwicklung, der Bau und die Erprobung eines Zusatzmoduls (Add-on Modul) für Raster-Sonden-Mikroskope (RSM) zur thermischen Charakterisierung dünner Schichten und nanostrukturierter Materialen wie sie beispielsweise für Thermogeneratoren benötigt werden. Im Rahmen des beantragten Vorhabens soll das Modul in Verbindung mit bereits etablierten Mess- und Charakterisierungsmethoden eingesetzt werden.