CoherentFocus

DATIPilot – Sprint – CoherentFocus: Erhöhung der Genauigkeit bei der Grenzflächendetektion von direktschreibenden Laser-Lithographie-Systemen durch das Prinzip der optischen Kohärenztomographie

Fördergeber

Forschungsschwerpunkt
Sustainable Production & Energy Technologies
Laufzeit

01.07.2024 - 31.12.2025

Ziele

Verbesserte Grenzflächendetektion eines direktschreibenden Laser-Lithographie-Systems bei Objektiven mit geringer numerischer Apertur.

Beschreibung

Bei der 3D-Lithographie für die schnelle Herstellung besonders flacher Strukturen auf Oberflächen, stoßen bestehende Systeme an Grenzen. Diese resultieren aus den begrenzten Detektionsmethoden für Substrate, die aktuell von der Auflösung der Systeme abhängen. Optische Kohärenztomographie (OCT) ermöglicht die genaue Erkennung von Grenzflächen unabhängig von der Auflösung. Dieses Projekt zielt darauf ab, ein OCT-System in eine kommerzielle 3D-Lithographie-Maschine zu integrieren, um den Stand der Technik zu verbessern.

Steckbrief als PDF

Mitglieder
Leitung
  • Prof. Dr. Jens Ebbecke
Mitarbeiter
Projektträger

Forschungszentrum Jülich GmbH
Partner
  • Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH