Motivation

Bei hochwertigen Optikflächen können Fehler im mittleren Frequenzband zwi-schenFormabweichung und Rauheit (Mid-SpatialFrequencyErrors, MSFE) dazu führen, dass die Optiken auf Grund des resultierenden Beugungs-und Streulicht-anteils nicht verwendet werden können.

Vorgehen

Ziele des Projektvorhabens EmmaV sind die systematische Beschreibung von MSFE sowie deren aktive Vermeidung. Dazu werden die Erscheinungsformen dieser Fehler analysiert und ihre Ursachen im Fertigungsdurchlauf identifiziert.