EmmaV

Entstehungsmechanismen mittelfrequenter Fehler und deren aktive Vermeidung / IGF-Projekt 18564 N

Laufzeit

01.01.2017 - 30.06.2019

Ziele

Um nicht verwendbare Beugungs- und Streulichtanteile bei hochwertigen Optikflächen zu unterbinden, werden systematische Beschreibungen von Fehler im mittleren Frequenzband zwischen Formabweichung analysiert und identifiziert.

Beschreibung

Motivation

Bei hochwertigen Optikflächen können Fehler im mittleren Frequenzband zwi-schenFormabweichung und Rauheit (Mid-SpatialFrequencyErrors, MSFE) dazu führen, dass die Optiken auf Grund des resultierenden Beugungs-und Streulicht-anteils nicht verwendet werden können.

Vorgehen

Ziele des Projektvorhabens EmmaV sind die systematische Beschreibung von MSFE sowie deren aktive Vermeidung. Dazu werden die Erscheinungsformen dieser Fehler analysiert und ihre Ursachen im Fertigungsdurchlauf identifiziert.

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