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Fertigung von Quarzglas-Optiken mittels Selective Laser Etching auf Ultrapräzisions-Drehmaschinen

Laufzeit

01.06.2018 - 31.05.2021

Ziele

Mit konventionellen Politurschritten ist nach heutigem Stand der Technik iterativ die optisch geforderte Qualität in der Regel herstellbar. Es sind bei SLE-vorgefertigten Flächen dazu insbesondere folgende Problemstellungen zu lösen:

  • Bildung einer geeigneten, wirtschaftlichen Polierschrittabstufung, ggf. auch unter Einbezug des Laserpolierens.
    
  • Vermeidung der Bildung von Strukturen und mittelfrequenten Fehlern auf der Fläche
    
  •  Vermeidung von Ausrichtungsfehlern im Durchlauf durch die Polier- und Messprozesse
    

Ohne eine erfolgreiche, wirtschaftliche Nachbearbeitung der durch SLE vorgefertigten Flächen sind diese in der abbildenden Optik nicht nutzbar. Das Teilvorhaben ist daher für das Gesamtverbundprojekt unverzichtbar um eine auf SLE-Technologie basierende Fertigungskette Optik industriell zu etablieren.

Beschreibung

Die mittels SLE gefertigten Oberflächen weisen aufgrund des Ätzprozesses eine Rauheit von Sa = 300 - 500 nm (Rz = 1-2 µm) auf. Diese Rauheiten sind weder für Beleuchtungsoptiken noch für Abbildungsoptiken ausreichend. Daher muss für optische Anwendungen zwingend eine abschließende Politur der SLE-Oberflächen erfolgen.

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Fördergeber

Projektträger

Partner

Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT

Innolite GmbH

LightFab