setUp
Fertigung von Quarzglas-Optiken mittels Selective Laser Etching auf Ultrapräzisions-Drehmaschinen
Fördergeber
Laufzeit
01.06.2018 - 30.11.2021
Ziele
Mit konventionellen Politurschritten ist nach heutigem Stand der Technik iterativ die optisch geforderte Qualität in der Regel herstellbar. Es sind bei SLE-vorgefertigten Flächen dazu insbesondere folgende Problemstellungen zu lösen:
-
Bildung einer geeigneten, wirtschaftlichen Polierschrittabstufung, ggf. auch unter Einbezug des Laserpolierens.
-
Vermeidung der Bildung von Strukturen und mittelfrequenten Fehlern auf der Fläche
-
Vermeidung von Ausrichtungsfehlern im Durchlauf durch die Polier- und Messprozesse
Ohne eine erfolgreiche, wirtschaftliche Nachbearbeitung der durch SLE vorgefertigten Flächen sind diese in der abbildenden Optik nicht nutzbar. Das Teilvorhaben ist daher für das Gesamtverbundprojekt unverzichtbar um eine auf SLE-Technologie basierende Fertigungskette Optik industriell zu etablieren.
Beschreibung
Die mittels SLE gefertigten Oberflächen weisen aufgrund des Ätzprozesses eine Rauheit von Sa = 300 - 500 nm (Rz = 1-2 µm) auf. Diese Rauheiten sind weder für Beleuchtungsoptiken noch für Abbildungsoptiken ausreichend. Daher muss für optische Anwendungen zwingend eine abschließende Politur der SLE-Oberflächen erfolgen.
Mitglieder
Leitung
Mitarbeiter
Projektträger
VDI/VDE Innovation + Technik GmbHPartner
Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT
Innolite GmbH
LightFab