Quorum Q300T D

Anwendungsmöglichkeiten
  • Abscheidung von Metall-Dünnfilmen
  • Sequentielle Abscheidung von zwei Filmen ohne Vakuumbruch (z.B. Au mit Cr-Haftschicht)
Technische Daten
  • Maximale Probengröße: 100 mm ∅
  • 2 Targets (57 mm ∅), Sequenz ohne Vakuumbruch
  • Targetmaterialien: div. Metalle, ITO, Kohlenstoff
  • Filmdickenkontrolle: Festzeit, QMB für jedes Target
  • Sputtergas: Ar
  • Basisvakuum: 5x10-5 mbar
Ansprechpartner
Bilder