Diener Electronic Tetra 30 LF

Anwendungsmöglichkeiten
  • Plasmainduzierte Gasphasenabscheidung von Dünnfilmen (z.B. DLC)
  • Plasmainduzierte Reinigung und Aktivierung von Festkörperoberflächen mit Ar, O2, H2
Technische Daten
  • Maximale Probengröße: 70 x 200 mm
  • Plasmagenerator: 40 kHz, 400 W
  • Druckbereich: 0,2 – 1,0 mbar
  • Substrattemperatur: ungeheizt
  • Verfügbare Gase: Ar, O2, H2, C2H2, CHF3, Flüssigprecursor
Labor
Labor Material- und Schichttechnik
Standort

TC Teisnach Sensorik

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