Olympus LEXT OLS4100
Anwendungsmöglichkeiten
- Hochaufgelöste dreidimensionale Mikroskopaufnahmen auch von transparenten Oberflächen
- Messung von Strukturbreiten, -tiefen und -winkeln
- Kontaktlose Messung von Oberflächenrauigkeiten
Technische Daten
- Verfahrweg der motorisierten Stage: 100 x 100 mm
- Objektive 5x, 10x, 20x, 50x, 50x LWD, 100x LWD
- Vergrößerung: 5x - 17.280x
- Laser: 405 nm
- Optisches Mikroskop für Farbdarstellung
- x/y-Auflösung: 120 nm
- z-Auflösung: <10 nm
- Maximal messbarer Flankenwinkel: 85°
- Differentieller Interferenzkontrast
- Stitching-Routine für großflächige Abbildungen
Labor
Labor Mikrobearbeitung / FertigungstechnikStandort
TC Teisnach Sensorik