Olympus LEXT OLS4100

Anwendungsmöglichkeiten
  • Hochaufgelöste dreidimensionale Mikroskopaufnahmen auch von transparenten Oberflächen
  • Messung von Strukturbreiten, -tiefen und -winkeln
  • Kontaktlose Messung von Oberflächenrauigkeiten
Technische Daten
  • Verfahrweg der motorisierten Stage: 100 x 100 mm
  • Objektive 5x, 10x, 20x, 50x, 50x LWD, 100x LWD
  • Vergrößerung: 5x - 17.280x
  • Laser: 405 nm
  • Optisches Mikroskop für Farbdarstellung
  • x/y-Auflösung: 120 nm
  • z-Auflösung: <10 nm
  • Maximal messbarer Flankenwinkel: 85°
  • Differentieller Interferenzkontrast
  • Stitching-Routine für großflächige Abbildungen
Labor
Labor Mikrobearbeitung / Fertigungstechnik
Standort

TC Teisnach Sensorik